在硅晶體管和集成電路生產中,幾乎每道工序都有硅片清洗的問題,硅片清洗的好壞對器件性能有嚴重的影響,處理不當,可能使全部硅片報廢,做不出晶體管來,或者制造出來的器件性能低劣,穩定性和可靠性很差。因此弄清楚硅片清洗的方法,不管是對于從事硅片加工的人,還是對于從事半導體器件生產的人來說都有著重要的意義。
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半導體硅片清洗工藝的發展研究
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建材之家406核心提示：在硅晶體管和集成電路生產中,幾乎每道工序都有硅片清洗的問題,硅片清洗的好壞對器件性能有嚴重的影響,處理不當,可能使全部硅片報廢,做不出晶體管來,或者制造出來的器件性能低劣,穩定性和可靠性很差。因此弄清楚硅片清洗的方法,不管是對于從事硅片加工的人,還是對于從事半導體器件生產的人來說都有著重要的意義。http://kshfgf……
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