中信建投研報認為,全球半導體產業預計將繼續向中國大陸轉移,2021-2022年中國預計將建8座高產能晶圓廠。目前國產設備采購比例仍處于較低水平(2020年占采購總額的7%),未來國產設備發展空間廣闊。國內半導體設備廠商產品線逐步完善,在各自優勢環節逐漸突破。目前去膠設備國產化率達到90%以上,清洗設備、熱處理設備、刻蝕設備國產化率20%左右,PVD設備與CMP國產化率為10%,此外在光刻機、離子注入機、量測設備實現了零的突破,測試設備取得較大進展。
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